项目领域：半导体制造，泛芯片制造，微加工

项目简介：光刻机是微加工的最基础装备。无掩膜光刻机（Maskless Aligner）是近年来出现的一个新品类的光刻机。它采用数字投影芯片作为图案生成器，免去了实体掩膜板，非常适用于小批量试制，节省了掩膜的制作成本和耗时。数字投影技术还带来了“灰度光刻”新功能，可用于制作未来的微光学器件。

项目单位：北京瑞荧仪器科技有限公司